首先涉及质谱的精度，应确定真空度不好的原因。如果是由要检测系统引起的，检测结果应该不受影响；如果是由质谱仪引起的，则会造成测量不准确。解决办法之一是配置真空计检测系统在质谱仪启动和关闭时系统的真空度。其次是对质谱仪性能的影响，一般真空度不好会对阴极寿命产生负面作用，是不利的。
