在硅片上镀绝缘薄膜，想计算薄膜的介电常数，但是不知道硅衬底对它的影响是不是很大。:P:P 镀绝缘薄膜，应该不会有很大的影响的，你测试的时候问下测试的老师明光(站内联系TA)单晶硅一般是掺杂的，分P型和N型，我们一般关注其电阻率。不同厂家和型号的硅片物理性能也不同。
