A、由化学反应前后元素的种类不变和生产高纯硅的流程示意图可知，M的化学式是HCl，故A正确；B、氢气遇到氧气加热可能会爆炸，所以制备过程无氧气，故B正确；C、制备过程无水，可能是防止制备过程中某些物质与水反应，故C正确；D、生产高纯硅的流程示意图可知，盐酸既是反应物，又是生成物，所以可重复利用的物质是HCl，故D错误．故选：D．
