电火花线切割加工是用连续移动的电极丝作为工具电极与工件之间产生火花放电腐蚀工件，进行切割加工。在火花放电时，金属材料被蚀除下来，这一微观的物理过程也就是电火花加工的物理本质，从大量实验资料来看，每次电火花腐蚀的微观过程都是电场力、磁力、热力、流体动力、电化学和胶体化学等综合作用的过程。在加上高频脉冲电源后，工件（接高频脉冲电源的正极）与电极丝（接高频脉冲电源的负极）之间产生很强的脉冲电场，使极间的介质的被电离击穿，形成放电通道，产生脉冲放电；极间介质一旦被电离、击穿，形成放电通道后，脉冲电源使通道间的电子高速奔向正极。电能变成动能，动能通过碰撞又转变为热能。于是在通道内正极和负极表面达到很高的温度。高温将工作液介质气化，进而热裂分解气化，如水基工作液热分解为氢气和氧气甚至原子等。正负极表面的高温除使工作液气化、热分解气化外，也使金属材料熔化甚至沸腾气化。这些气化后的工作液和金属蒸气瞬间体积猛增，在放电间隙内成为气泡，迅速热膨胀并产生爆炸。观察电火花线切割加工过程可以看到气泡冒出，同时有黑色的工作液流出，并可听到轻微而清脆的爆炸声。电火花线切割加工主要靠热膨胀和局部微爆炸，使熔化、气化了的金属材料抛出蚀除。
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