EDS虽是体含量，但主要是定性测量，定量很麻烦，要标定的，一般人家不给做；XPS一般是表层1~3nm处的含量，但是定量准确，精确度在95%以上。你要发高水平的SCI，建议用XPS；一般的文章用EDX就行了
用EDX， 因为EDX测试的是体含量，而XPS测试的是样品表面10nm内的含量，所以受表面污染物影响较大。
