前者是在管子里，片子在石墨舟里作为电极镀膜，可以叫做直接式，后者则在石墨框上，不作为电极，可以叫做间接式。前者采用射频电源，后者则采用微波辉光。另外还有很多不同之处。
工艺上主要关注两者的产能和镀膜均匀性，管P都略胜一筹，但板式便宜一些
