有两种原理不同的气敏二极管。其中的“金属氧化物气敏二极管”是在硅半导体材料表面（隔着一层氧化硅绝缘层）蒸镀一层对各种气体敏感的金属氧化物，比如氧化镉，氧化钛，氧化锌...等等。这些金属氧化物遇到特定的敏感气体分子时会改变介电常数，导致二极管的结电容发生变化。通过测量二极管的结电容可以测量敏感气体的浓度。
