真空镀膜机各泵工作顺序，原因，原理

2025-03-11 21:48:18

推荐回答（5个）

回答1：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。

扩展资料：

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。

对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。

参考资料来源：百度百科--真空镀膜机

回答2：

一：真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
二：真空镀膜机有三个泵的：机械泵（一般是油旋转泵），增压泵又叫罗茨泵
，高真空泵（扩散泵或者分子泵）
机械泵
是从大气开始工作的，机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时候，机械泵的排气效果也会变差，所以要经常保养，点检，机械泵油的密封效果也需要常常点检，油过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔堵塞，无法吸气和排气，一般，在油位在线下0.5厘米即可。
增压泵：
它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵，由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同，所以又可以叫罗茨真空泵，此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度，它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点，此泵不能从大气开始工作，也不能直接排出大气，它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差，其余的则需要机械泵来完成，因此，它必须配以机械泵作为前级泵。
油扩散泵：机械泵的极限真空只有10-2帕，当达到10-1帕的时候，实际抽速只有理论的1/10，如果要获得高真空的话，必须采用油扩散泵。
油扩散泵
应用压强范围是10-1帕-10-7帕，它是利用气体的扩散现象来排气的，它具有结构简单，操作方便，抽速大（最高可以达到10+5升/秒）等特点。油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管和加热器组成，里面主要添加扩散泵油（日本的型号是D-704#），根据喷嘴的多少可以分为单级泵和多级泵。
当扩散泵的油被电炉加热时，产生的油蒸汽提供前置压强，机械泵充当前置泵。当扩散泵油被电炉加热时，产生的油蒸汽沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可喷出一段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁，凝结为液体，流回蒸发器，即靠油的蒸发——喷射——凝结，重复循环来实现抽气的。
操作程序
真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书
和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
② 打开总电源开关，设备送电。
③ 低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
⑤ 落下钟罩。
⑥ 启动抽真空机械泵。
⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。
a.左旋钮"1"顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b.低真空表"2"内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
⑧ 当低真空表"2"内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。
⑨ 真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮"1"转至指向2区段测量位置。低真空表"2"内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
⑪ 等低真空表"2"内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。
a. 发射、零点测量钮"9"旋转至指向发射位置。
b. 左下旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。
⑫ 旋转发射调节钮"4"，使高压真空表"5"内指针指向5。
⑬ 发射、零点、测量旋钮"9"旋转至指向零点位置。
⑭ 旋转零点调节钮"10"，让高压真空表"5"内指针指向0位置。
⑮ 发射、零点、测量旋钮"9"旋转至指向测量位置。
⑯ 旋转标准调节钮"3"，让高压真空表"5"内指针指向10。
⑰ 旋转"倍加器"开关钮"8"至指向10-12，当高压真空表"5"内指针逆时针左移超过1时，再把"倍加器"开关旋钮"8"旋转至指向10-3。
⑱ 当高压真空表"5"内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。
⑲ 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。
⑳ 右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。
a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。
b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。
c. 铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。
d. 右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。
21. 如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复⑳操作动作。
22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。
23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间，当没有气.声时，升钟罩。
24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。
25. 落钟罩。开机械泵。
a. 左下旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
b. 当低压真空表"2"内指针顺时针移动到6.7Pa时，低压阀推入。
c. 左下旋钮"1"旋转至指向1区段测量位置。
d. 当低压真空表"2"内指针顺时针移动到6.7Pa时，开高压阀。旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
e. 当低压真空表"2"内指针顺时针移动到指向0.1Pa时，开规管灯丝。
f. 由⑰开始重复操作至⑳ 。
26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。
a. 落下钟罩。
b. 开机械泵，抽3~5min，停机械泵。
c. 切断供电总开关。
d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。
27. 正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。来电后，先让机械泵启动工作3~5min后，再转入正常生产。

回答3：

它的原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，那就是不正常的现象了，说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。
所以说您的扩散泵工作时候上半部分不热是属于正常现象，请放心使用。

回答4：

你应该买本书看.你问的我回答了可以出书.可以追问一定告诉你

回答5：

我也想知道具体的资料。。

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