请问扩散硅压力传感器是什么原理呢

2025-04-16 06:14:13
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回答1:

被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,应用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号(通常为电压信号)。

所谓的扩散硅,就是通过工艺技术处理的掺杂硅基。

虽然天天在用,但原理不太清楚。上述是我的理解,你自己找些有关书籍看看吧。

回答2:

也是在硅片上刻蚀惠斯通电桥,然后根据其压阻效应,将压力转换成破坏桥路平衡的电流,再根据电流变化与压力大小的线性关系,推算压力大小。好像所有的压阻传感器都是这个原理。
楼上误解了,扩散硅压力传感器并非都是充油芯体组成,像测量气体压力的扩散硅压力传感器就很少用到充油部件。